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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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品種替えもコンテナ交換でスムーズ!コンテナミキサーを使った自動化ライン
【空気輸送 特長】 ■優れた操作性と計量小型設計 ■粉体輸送の最適化を追求 ■圧縮空気で稼働する粉粒体の輸送に好適 ■少ない風量で高密度輸送 ■飛散がなく衛生的かつ破砕の少ない輸送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社山善
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