リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

芝生保護材『テラフロア』

天然芝の生育を維持するためのテクノロジー！6枚セットのパネルは2名で容…

スタジアムやアイスアリーナといった競技場で、コンサートや展示会などの多目的利用を実現する「テラプラス」シリーズ。 『テラフロア』は、透光性の高密度ポリエチレン（HDPE）から製造されており、強度があるだけでなく、十分な光を通し、継続的な光合成が可能な芝生保護材です。 特許取得済みの円形の"足"は、芝生生育への影響を最小限に抑え、負荷を...

メーカー・取り扱い企業： コウフ・フィールド株式会社 本社