リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

熱影響が少なく素材機能にダメージを与えないウォータージェット加工

ドリルなどの工具が対象物に触れない非接触加工。熱の発生がなく、対象物に…

～ウォータージェットによる切断加工とは～ 水を超高圧に加圧し、小径ノズルから噴射する、高速・高密度な超高圧水の エネルギーを利用して、対象物を切断加工する工法です。 超高圧水発生ポンプで加圧された水は、音速の約3倍に達し、 破壊力のあるウォータージェットが生まれます。 金属、非...

メーカー・取り扱い企業： 久代鋼業株式会社