リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

燃料電池用圧力分布　I-SCAN システム

圧力情報をコンピュータ画面に表示。動作中のスキージ圧の測定にチャレンジ…

フィルム状のシートを利用しているため、センサが0.1mmと極めて薄くなっています。 センシングポイントが1936点あり（10×10は100点）、対象物の大きさに合わせて高密度な測定が可能です。 柔軟性に富み、どのような対象物にも装着できます。 高速データ処理で、リアルタイムに測定できます。 特殊パターンでの形成も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

BIG-MATシステム

圧力情報をコンピュータ画面に表示。動作中のスキージ圧の測定にチャレンジ…

従来、非常に困難であった、大面積での圧力分布の測定が可能となりました。 センシングポイントはタクタイルセンサシリーズ の中で最も多い2064点を持ち高密度な測定が可能です。 センサシートは、用途に応じて保護材を貼付したタイプもあります。 柔軟性に富み、どのような対象物にも装着可能です。 高速データ処理で、リアルタイムに...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社