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装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック!高信頼性の成…
株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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