真空配管設備　ヒータージャケットシステム　[配管設備温度調節]

配管設備における温度調節を低価格で実現し、メンテナンスコスト節減！配管…

半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータージャケットシステムは、こうした特殊ガスの配管設備における温度調節を低価格で実現し、長期のランニングによる配管洗浄の手間といったメンテナン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス