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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比5倍高速・高…
超広視野共焦点型・高分解能1μm、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる 計測時間:1μm分解能 約35秒 5μm分解能 約10秒 ●計測幅:0.8μm 深さ:5nm ●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ワイ・ドライブ
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