【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

【FOOMA2024出展決定】クリーン環境対応の天井搬送システム

PR納入事例動画あり！工程間搬送で実績多数のワーク形状を問わない高速搬送シ…

■FOOMA JAPAN2024に出展決定■ 会場　　　：東京ビックサイト　東１～８ホール 会期　　　：2024年6月4日(火)～7日(金)　4日間 ブース番号：東7　P-15 ぜひ実機をご覧ください！ 「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上導線に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。ハンガ部分はお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部

【R-FLOW解析事例】流動層式焼却炉内汚泥燃焼解析

熱流体・粉体解析ソフト「R-FLOW」による流動層式焼却炉内汚泥燃焼解…

の底部からは空気が吹き込まれ、汚泥は流動化しながら、乾燥・熱分解・チャー燃焼の燃焼プロセスを経て、次第に小さな破片に分解されて行く要素が再現されています。 燃焼解析で対象とするガスは、酸素等の８成分のガスで、燃焼に伴う熱・化学種の発生・消滅を考慮して圧縮性ガスとして解析しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アールフロー

【R-FLOW解析事例】ストーカ式焼却炉内ごみ燃焼解析

熱流体・粉体解析ソフト「R-FLOW」によるストーカ式焼却炉内ごみ燃焼…

二次空気が吹き込まれ、ごみが火格子上で移動する際に、乾燥・熱分解・チャー燃焼の燃焼プロセスを経て、次第に小さな破片に分解されて行く要素が再現されています。 燃焼解析で対象とするガスは、酸素等の８成分のガスで、燃焼に伴う熱・化学種の発生・消滅を考慮して圧縮性ガスとして解析しています。 ごみは付着力によって互いに結合する結合粒子として表現しており、ごみの燃焼の進行に伴って結合粒子間の付着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アールフロー