• 大型プラズマエッチング装置 製品画像

    大型プラズマエッチング装置

    ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

    標準500mm□のステージを装備したバッチタイプ平行平板型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 F系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしSi系・SiO2系・SiN系のエッチング及びアッシングに対応。またArガスを主とした基板のクリーニングやO2ガスによる表面改質など多様な用途に...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

1〜1 件 / 全 1 件
表示件数
15件
  • < 前へ
  • 1
  • 次へ >

※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。

  • JIMTOF2024WebBanner_300x300_JP.jpg
  • banner_202409_final.jpg