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ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…
標準500mm□のステージを装備したバッチタイプ平行平板型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 F系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしSi系・SiO2系・SiN系のエッチング及びアッシングに対応。またArガスを主とした基板のクリーニングやO2ガスによる表面改質など多様な用途に...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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