縦型真空アニール装置

ウェハプロセス対応　本格量産システム　アニール・シンター・ポリイミドキ…

Ｓｉウェハへの対応を基本とし各種基板・用途に柔軟に対応カスタマイズ サファイア、石英、ガラス、ＰＣＢ等多用途対応。 雰囲気も真空（低真空・高真空）不活性（Ｎ２，Ａｒ）酸化、還元（Ｈ２，フォーミングガス）等豊富な実績機能より選択可能。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店