株式会社コスモ・サイエンス
最終更新日:2014-05-22 15:47:03.0
対向スパッタ高性能薄膜形成装置
基本情報対向スパッタ高性能薄膜形成装置
低ダメージ多層薄膜作製を実現!!
【4大特長】
1.プラズマダメージが極めて少なく高スループット性を実現
2.可変スパッタモードにより初期成長膜をリニアにコントロール
3.高速スパッタモードでも低温、プラスチック基板でも冷却不要
4.レシピ機能とデータフィードバック機能によって早い試作・検討
取扱会社 対向スパッタ高性能薄膜形成装置
真空装置及び関連機器の設計から製作、製造及び現地搬入設置、メンテナンスまで一貫したサービスを提供しています。排気装置、真空配管、プロセスガス配管等の製作の他、溶接一般(アーク、CO2、Tig、銀ロー付、ガス導入配管自動溶接、リークテスト)の技術にて真空チャンバーなどの各種真空容器の製作も行っています。
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