株式会社ヒロテック SiCインラインヒーター ACCUHEAT

基本情報SiCインラインヒーター ACCUHEAT

HF/KOH/溶剤等の昇温に最適
SiCインラインヒーター

【特徴】
○IMTEC社製
○フッ酸・アルカリ液（KOH、TMAH）対応
○SiCチューブを使用
○ヒーターを直接貼ることにより、
　 最適な効率で高精度な温度制御を可能
○接液部は、SiCおよびPFAのため従来のヒーターと比べ
　 コンタミの発生を防ぐ
○ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー
○コンパクトサイズ
○縦置き・横置き設置が可能
○省スペースを実現
○循環・シングルパスプロセス共に対応可
○4.5kw-18kwまで多彩なラインナップ

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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カタログSiCインラインヒーター ACCUHEAT

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  SiCインラインヒーター　ACCUHEAT

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取扱企業SiCインラインヒーター ACCUHEAT

株式会社ヒロテック 東京営業所

半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品販売

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