マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ真空デバイス

ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - https://www.shinkuu.co.jp/sputtering-device/msp-20…

基本情報マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ

【主な特徴】
○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。
○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。
○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。
○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。
○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。
○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。
○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。
○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。
○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。

【その他の特徴】
○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。
○膜純度の向上に活躍。
○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせください
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
型番・ブランド名	ＭＳＰ－２０ＭＴ
用途／実績例	【用途】 ○電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。