光学的ストッパー機能装備　「シート抵抗測定装置」アローズエンジニアリング

次世代半導体デバイス用薄膜の研究開発に最適。低価格を実現。

光学的ストッパー機能装備「シート抵抗測定装置」はマイクロ4端子プローブを用いることで表面の抵抗分布を微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能です。電子デバイスにおける薄膜表面の微細領域での抵抗分派測定が可能次世代の研究開発用途に限定で機能を絞り込むことで低価格を実現。光学的ストッパー機能が標準で装備されており、通電が無い場合でも一定以上の押し込みを停止して、プローブを守ります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

基本情報光学的ストッパー機能装備　「シート抵抗測定装置」

【特長】
○微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能
○低価格を実現
○光学的ストッパー機能が標準装備
○次世代半導体デバイス(極浅接合Siウエハー、有機半導体)用薄膜の研究開発
○機能性薄膜(青色ダイオード用GaN,SiCパワーデバイス、太陽電池等)の研究・開発

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取扱企業光学的ストッパー機能装備　「シート抵抗測定装置」

アローズエンジニアリング株式会社

1.半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売 2.各種半導体装置周辺機器の修理・オーバーホール 3.半導体製造装置の付帯設備工事及び保守・保全 4.中古半導体装置及び中古ユニット・中古部品の販売 5.金属機械加工・特殊樹脂加工の設計・製造・販売 6.瞬低保護装置（VoltageSagProtector）の製造販売 7.各種検査機器・顕微鏡の販売 8.工業薬品の販売