【測定事例】　熱で金属薄膜の厚みを評価する　【TM】ベテル　ハドソン研究所

熱物性を測定することで、薄膜の厚みが評価できます！

ベテル社製サーマルマイクロスコープTM3を使用することで、
「薄膜の厚み」が評価できます。

関連リンク - http://blog.thermal-measurement.info/

基本情報【測定事例】　熱で金属薄膜の厚みを評価する　【TM】

薄膜の厚みを評価する場合、当社では、表面粗さ計を用い評価を行っていますが、
表面粗さ計を用いた場合、薄膜を成膜する基板に何らかのマスクを施し、
成膜されていない部分を作って、成膜部分との段差を調べます。
透明な薄膜の場合、光の干渉を用いて測定も可能ですが、
不透明な膜の場合は表面粗さ計を使うか断面顕微鏡で観察する方法が一般的と思います。

さて、当社の熱物性顕微鏡TM3は、熱浸透率や熱伝導率を測定する装置ですが、
薄膜の厚みによっても測定結果が変わってきます。
単位の中に距離が入ってくるので当然といえば当然ですが・・・・

実験では、ホウ珪酸ガラス上に成膜されたＭｏ薄膜を測定しました。
厚みは50nm～130nmの範囲で測定して測定値の変化が得られており、
数十nmの分解能で厚みの変化が評価できそうです。
空間分解能はレーザスポット径である3μmとほぼ同等と考えられ、
従来方法にはない特徴を持っています。

価格情報	***** 数量・難易度により変動しますので、詳細はお問合せください。
納期	お問い合わせください ※数量・難易度により変動しますので、詳細はお問合せください。
型番・ブランド名	サーマルマイクロスコープTM3
用途／実績例	NiTi合金の熱浸透率測定