基本情報高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
サファイア(アルミナ単結晶)に近い性質を持つ透光性アルミナセラミックスは可視光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。クアーズテック社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発しました。SAPPHALは高純度であると同時に、気孔の無い真密度に極めて近い緻密性と結晶粒径の揃った均一な組織構造をもつため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐えることができます。また、従来難しいとされていた複雑形状品、大型製品などの製造も可能になり、さらなる応用が期待されています。
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| 用途／実績例 | 【主な用途】プラズマエッチングプロセス用部材 ・シャワープレート ・サセプター ・インシュレーター ・ノズル ・ベルジャー ・ドーム |
取扱企業高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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