ブロンコスト・ジャパン株式会社 メタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ

半導体産業や高純度ガスを扱うアプリケーションに。特許取得メタル/メタルシール機構により、長期のリークタイトネス保証!

メタルシール デジタル・マスフロー/プレッシャメータ/コントローラのご紹介です。 機器は高品質な表面仕上げで、モジュールコンセプト構造のメタルシールですから長期間のリークタイトネスを保証します。 本機は高精度・すばらしい温度性・及び高速応答を有するPCボードを備えています。 最新のEL-FLOWシリーズはマルチガス/マルチレンジ機能も加わり、さらに(OEM)顧客へそのアプリケーションにおいて最適なフレキシビリティーとプロセス効率を提供します。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

基本情報メタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ

【特長】
●特許取得メタル/メタルシール機構により長期のリークタイトネス保証(対大気)
●エレクトリックポリッシュ接ガス部品
●高速応答、高繰返し性
●流量レンジ:0.1...5sccm~0.6...100 slm
N2ベース(ご要求により高流量可能)
●マルチガス/マルチレンジ機能
●低圧損、又は真空適用可能(オプション)
●プレッシャーメータ/コントローラレンジ:0.1...5~18...900 psi
●サーフェースマウント可能(オプション)
●RoHS対応

◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。
 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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型番・ブランド名 メタルシール
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カタログメタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ

取扱企業メタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ

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ブロンコスト・ジャパン株式会社

●マスフロー ●圧力計測と制御 下記メーカー100%出資の日本法人 ・Bronkhorst High-Tech B.V. (オランダ) 下記メーカー製品の販売 ・Bronkhorst High-Tech B.V. (旧Bronkhorst CORI-TECH B.V.製品を含む) (オランダ) ・Bronkhorst Instruments GmbH (旧M+W instruments GmbH製品を含む) (ドイツ) ・Mass Flow ONLINE B.V. (オランダ)

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