株式会社イオンテクノセンター 表面分析 二次イオン質量分析（SIMS）
- 最終更新日：2019-03-18 11:47:44.0
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物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行っています
主な装置は「HR-TEM」「Ｑ-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。
【表面分析 二次イオン質量分析（SIMS）】
○数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して放出される2次イオンの質量分析によって、水素を含む全元素の組成分析を行う手法。
○高感度の元素分析や低エネルギーイオンによる深さ分解能の優れた測定が可能。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報表面分析 二次イオン質量分析（SIMS）
【特長】
○数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して放出される2次イオンの質量分析によって、水素を含む全元素の組成分析を行う手法。
○高感度の元素分析や低エネルギーイオンによる深さ分解能の優れた測定が可能。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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| 用途／実績例 | ・ドーパントプロファイル評価 ・ 薄膜組成分布評価 ・ 表面・断面の元素面分布評価 |
カタログ表面分析 二次イオン質量分析（SIMS）
取扱企業表面分析 二次イオン質量分析（SIMS）
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1.受託物理分析 2.イオン注入加工
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