純水加熱器「SP型」日本ヒーター | イプロスものづくり

縦型シェルヒーターと温度制御盤のユニットヒーター

純水加熱器「SP型」は、純水を70～90℃まで加熱して洗浄効果を高める、高性能純水加熱器です。
フロン等の溶剤に替わって純水が使用される、半導体や液晶製造の洗浄工程に用いられます。
全面パネル式でクリーンルーム対応。洗浄装置に連結し、遠隔操作することもできます。

【仕様】
○ヒーターエレメントおよび接液部のステンレス表面処理として、
　電解研磨を施し純水への不純物溶出を抑えている
○石英ヒーター・石英槽を使用した加熱装置に比べ、
　堅牢でかつ大幅なコストダウンを実現
○４ケ所のキャスター（アジャストボルト付き）により、
　設置およびメンテナスや定期点検等での移動が容易

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基本情報純水加熱器「SP型」

【仕様】
○電源電圧：３相200Ｖ
○形状：縦形　加熱器（シェル型ヒーター）と温度制御盤のユニット品
○圧力：0.1MPa・G以下
○温水ボイラー適用区分：簡易ボイラー

【材質】
[適用／材質／備考]
○ヒーター／SUS316L／O.D.12　接液部電解研磨
○シェル／SUS316L／接液部電解研磨
○IN-OUT／SUS316L／JIS10K板フランジまたは管継手
○パネル・フレーム／SPCC・SS／焼付塗装　マンセルNo. 7.5Y 9/1

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用途／実績例	【用途】 ○フロン等の溶剤に替わって純水が使用される半導体や液晶製造の洗浄工程など ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。