真空搬送ロボットアルバック／ULVAC, Inc.

クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】

真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。

【ラインナップ】
○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応）
○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応）
○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応）
○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応）
○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応）

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.ulvac.co.jp/products_j/components/trans…

基本情報真空搬送ロボット

【特徴】
○多彩なアーム構成
→ハンドの数や回転半径、
　ストロークなど装置仕様に応じたアームを選択できる
○高精度搬送
→剛性の高いアームと信頼性に優れたアクチュエータを採用し、
　安定した搬送が行える
○高真空対応
→10-6Paまでの高真空に対応（ELEC-RZ/COVOT）
○真空搬送プラットフォームも提供
→ロボットおよびコアチャンバー/ ロードロック室などを
　組み合わせた真空搬送プラットフォームも各種ラインアップしている

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用途／実績例	【用途】 ○各種半導体向け製造装置でのウェーハ自動搬送 ○各種真空実験装置での基板搬送 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。