ブルーオーシャンテクノロジー株式会社 エキシマUV装置（ハンディタイプ）
- 最終更新日：2016-12-12 13:48:53.0
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超小型ハンディ式エキシマUV装置
本体重量：3.8kg
寸法：W320×D260×H180mm
デモ機貸出可能
【社内実験機仕様】
・実験可能サイズ：600×700mm（最大）
・ランプ照度：50～140mW
・ランプ灯数：5本
・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min
・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中
・クリーンルーム：クラス10,000
・接触角計での測定可能
【特徴】
・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性
・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射
・真空環境内でもエキシマランプの点灯可
・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減
・ランプ毎に照度調整が可能
・ランプ有効長：MAX G10サイズまで
【主な用途】
・ガラス、フィルムの洗浄表面改質
・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ
・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化
・レジスト除去、アッシング
基本情報エキシマUV装置（ハンディタイプ）
超小型ハンディ式エキシマUV装置
本体重量：3.8kg
寸法：W320×D260×H180mm
デモ機貸出可能
【社内実験機仕様】
・実験可能サイズ：600×700mm（最大）
・ランプ照度：50～140mW
・ランプ灯数：5本
・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min
・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中
・クリーンルーム：クラス10,000
・接触角計での測定可能
【特徴】
・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性
・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射
・真空環境内でもエキシマランプの点灯可
・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減
・ランプ毎に照度調整が可能
・ランプ有効長：MAX G10サイズまで
【主な用途】
・ガラス、フィルムの洗浄表面改質
・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ
・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化
・レジスト除去、アッシング
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング |
取扱企業エキシマUV装置（ハンディタイプ）
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