株式会社協真エンジニアリング 高圧アニール装置

基本情報高圧アニール装置

LCD用低温ポリシリコンTFT基板や半導体ウェハの素子特性を向上させ、均一化するための装置です。
従来は1300℃で熱酸化させていた工程を、この装置では水蒸気で加圧加熱することにより600℃以下の低温で同じ効果を得ることができます。

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取扱企業高圧アニール装置

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■圧力・温度・湿度等環境制御技術を駆使した装置の製造販売 　・オートクレーブ 　・真空オーブン 　・液晶注入装置 　・真空アニール装置 　・液晶脱泡装置 　・昇華精製装置 　・プレッシャークッカー 　・超臨界流体装置 　・その他装置 □フラットパネルディスプレイ評価装置 … 取り扱いを終了いたしました。 　・液晶ディスプレイ評価装置：ＤＭＳシリーズ 　・ＬＣＤシュミレーションソフトウェア 　・ＦＰＤ視野角測定評価装置：ＣｏｎｏＳｃｏｐｅシリーズ 　・有機ＥＬディスプレイ評価装置 □インクジェット関連試験装置の販売 … 取り扱いを終了いたしました。 　・インクジェット液滴観測装置 　・インクジェット印字試験装置 　・インクジェット高精度材料塗布装置 　・インクジェット大型印刷装置

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