大倉インダストリー株式会社 ウエハエッジプロファイル計測装置

基本情報ウエハエッジプロファイル計測装置

ウエハエッジプロファイル計測装置ＥＰＭ−３００は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。ＣＭＰなどと組み合わせ、エッジの
研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。　従来の約１０倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状
取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能
、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。
また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで
可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます

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取扱企業ウエハエッジプロファイル計測装置

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