ウエハエッジプロファイル計測装置
ウエハエッジプロファイル計測装置 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/259801/001/img/装置外観写真3.jpg ウエハエッジプロファイル計測装置EPM−300は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。CMPなどと組み合わせ、エッジの 研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約10倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状 取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能 、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。 また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで 可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます 大倉インダストリー株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 半導体検査/試験装置 EPM-300 -
  • 従来の約10倍の高速計測機能!数秒でエッジ部の形状取得が可能です!
    大倉インダストリー株式会社
    ウエハエッジプロファイル計測装置EPM−300は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。CMPなどと組み合わせ、エッジの
    研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約10倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状
    取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能
    、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。
    また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで
    可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます
  • ウエハエッジプロファイル計測装置の製品画像です
    ウエハエッジプロファイル計測装置の製品画像です

基本情報ウエハエッジプロファイル計測装置

ウエハエッジプロファイル計測装置EPM−300は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。CMPなどと組み合わせ、エッジの
研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約10倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状
取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能
、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。
また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで
可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

EPM-300

用途/実績例

300mmウエハエッジ検査
ウエハ研磨状態の検査

よく使用される業種

民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定

取扱会社ウエハエッジプロファイル計測装置

半導体検査装置の設計・製造・販売 DMDレーザー顕微鏡の設計・製造・販売 テンション計測装置の設計・製造・販売 トルク計測装置の設計・製造・販売 光ファイバ関連装置の製造 MRI等医療用特殊PC組立 その他 特注品 設計・製造等

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