フラットパネル対応型
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。
基本情報フラットパネル対応タイプ CVmap FP-1
【特徴】
○ベースはCVmap3093A/B
○フラットパネルに対応したモデル
○フラットパネル用のXYステージを備えている
●詳しくはお問い合わせください
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定 |
取扱企業フラットパネル対応タイプ CVmap FP-1
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