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ガラス板にエポキシ接着されたウェーハを洗浄する装置です
・超音波・揺動・ノズル洗浄にてワークのスラリ等汚れを落とします。 ・ノズルの前後ストロークは、ワーク長に合せて設定可能です。 ・プログラムは10ステップまで設定可能です。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム
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