ピエゾアシストステージ

手動で制御する精密位置決めステージ

ピエゾアシストステージの動作原理 ■装置の構成 ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。 ・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能です。 ・装置の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム