ガス分析計Quleeシリーズ　オプション

Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。【アルバッ…

ULVAC の残留ガス分析計／プロセスガスモニタ『Qulee』シリーズは様々なオプションを用意しています。 自動測定開始機能を追加した『Qulee QIP』やジャケットヒータ、キャリーケースなど、Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。 【仕様】 [ジャケットヒータ] ○使用電力　AC100V, 100W（CGM-JH01 ／ CGM-JH02）, 　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ガス分析計用ソフトウェア Qulee QCS

アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェア【…

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC 製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。 【特徴】 ○Quleeの標準ソフトウエア →Qulee全シリーズに標準採用（Windows XP/7対応） ○簡単操作 →充実したショートカットボタンによ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP

豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しまし…

差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&D まで幅広く活用いただけます。 【仕様】 ○ガス分析計本体　Qulee BGM-101/102/201/202、HGM-302から選択 ○最大サンプリング圧力 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量　排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧　AC100V 15A ○圧縮空気　Dry N2 : 0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ハイパフォーマンスプロセスガスモニタQulee HGMシリーズ

各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応【ア…

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計Qulee シリーズのハイエンドモデル機“Qulee HGM”です。 2.5 × 10-6A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。 【仕様】 ○電源電圧　DC24V±10% 50W ○質量（センサユニット/分析管）　2.4kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ

真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。【アルバック／ULVAC…

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。 真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。 【特徴】 ○表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ○簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要 ○リークテスト機能の充実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

コンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ

高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実…

Qulee CGMシリーズは、高圧下（1Pa 以下）での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式　四重極型質量分析計 ○質量...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.