関東化学株式会社電子材料事業本部
最終更新日:2023-04-06 15:57:15.0
ウェーハ洗浄液『Frontier Cleaner シリーズ』
ウェーハ用洗浄液『Frontier Cleanerシリーズ』
『Frontier Cleaner シリーズ』は微粒子(パーティクル)及び金属不純物を同時に除去が可能であり、バッチ式洗浄装置や枚葉式洗浄装置対応のウェーハ洗浄液です。
【特徴】
■ 酸系、アルカリ系の洗浄液をラインナップ
■ 金属不純物と微粒子の同時除去が可能
■ ウェーハ表面のマイクロラフネスの増大がない
■ 希釈使用が可能であるため、コストメリットに優れる
■ 室温で使用可能
※詳細は弊社HP又は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい (詳細を見る)
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