有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

基本情報有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

装置寸法：1700W×1300D×1400H

【特徴】
■装置寸法
　 1700W×1300D×1400H
■ワークサイズ
　ウェハー　φ4″～φ8″
　マスク　　 □4″～□6″
■オプション
　薬液供給ユニット

□その他詳細についてはカタログをご覧ください

基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
本体側面にキャニスター缶を収納可能。（詳細を見る）

半導体前工程／先端実装／ＦＰＤ分野におけるフォトリソグラフィ関連等のウエットプロセス装置の設計製作及び販売

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