株式会社カナメックス厚木工場
最終更新日：2010-12-14 13:39:31.0
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本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
【特徴】■装置寸法 2000W×1200D×2000H (200WCBT) 2000W×1500D×2000H (300WCBT)■ワークサイズ ウェハー φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) マスク □4″～□6″（ 同 MAX□9″)■オプション 薬液供給ユニット 剥離液リサイクル機能□その他詳細についてはカタログをご覧ください
カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。 （詳細を見る）
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 （詳細を見る）
株式会社カナメックス 厚木工場
半導体前工程／先端実装／ＦＰＤ分野におけるフォトリソグラフィ関連等のウエットプロセス装置の設計製作及び販売
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