表面処理装置　走査型イオン銃　「40E1型」

基本情報表面処理装置　走査型イオン銃　「40E1型」

表面処理装置　走査型イオン銃

２段の射出レンズにより、イオンビームのスポット径が容易に調整できる収束型イオン銃です。

２段の射出レンズにより、イオンビームのスポット径が容易に調整できる収束型イオン銃です。
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新素子、新素材開発、基礎研究および半導体部品の製造に関わる真空機器および装置部品の輸入および販売

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