アリオス株式会社
最終更新日:2011-03-07 10:11:20.0
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本ラジカルビーム源は、ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し、差圧によりフラックスを引き出しています
放電部、引き出し部は高純度PBNで製作しており、活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることができます。特に窒素ラジカル源として、多くの実績を有しています。
真空計、分子線セル、プラズマ・ラジカル・イオン源 実験用装置、半導体製造装置の設計・製造・販売
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