小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子線鏡筒

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、
既存の装置へ追加する事ができます。

主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、
AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、
EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。

超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わせてお使いください。

【特長】
■低加速・大電流密度
■静電型採用の為、漏洩磁場が少ない
■超高真空対応(ベーキング温度<150℃)
■省スペースでの取付けが可能(取付フランジCF114)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。