ウェハ再生装置

シンプルデザインの多目的応用手動装置
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＜仕　様＞
ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ
洗　浄…ディスクブラシ、1.1MS標準装備
オプション…高圧ジェットノズル、薬液ノズル等
電源…AC100v or 200v
CDA.…0.5MPA.以上
純水…0.2MPA.以上
その他
恒温水槽内
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オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート)
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＜仕　様＞
ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ
搬送…大気3軸クリーンロボット
クリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター
洗浄…ブラシ、MS標準装備
オプション…高圧ジェットノズル、UV、エキシマ、ホットプレート等
ユーテリティ…電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他 （詳細を見る）

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス
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＜仕　様＞
試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ
カップ径…Φ300mm
回転範囲…100-5000rpm
回転精度…±1rpm
スピンドルモータ…AC サーボモーター
回転表示…デジタル
回転数設定…液晶タッチパネル
薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式）
レシピ設定…10プログラム ×50 パターン
オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク
ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー
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製造工程で発生するウェハーNG品に着目し、機密流失の保護やウェハーの
再利用及び再生コストを低減する為、ウェハーに付着した有機物除去を目的とした装置

【特長】
◆廃棄物、委託再生時の機密流失の保護。

◆委託再生時の有機物除去費用の削減。

◆試験用ウェハーの再利用による予備品費の削減。

◆無破損ウェハーの再利用による製造コストの削減。

※詳細は【資料請求】まで （詳細を見る）

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス
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＜仕　様＞
試料サイズ…Φ2インチ 〜 Φ6インチ
カップ径…Φ300mm
回転範囲…100〜5000rpm
回転精度…±1rpm
スピンドルモータ…ACサーボモーター
回転表示…デジタル
回転数設定…液晶タッチパネル
レシピ設定…10プログラム×50パターン
オプション…試料台、真空ポンプ
ユーティリティー…電源、真空 （詳細を見る）

温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー)
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＜仕　様＞
ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ
エッチング液…酸、アルカリタイプ
オプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等
電源…AC100v or 200v
CDA…0.5MPA.以上
DIW.…0.2MPA.以上
その他 （詳細を見る）