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最終更新日:2018/12/14

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  • カタログ発行日:2018/12/14

オスミウムコーター HPC-1SW型ホローカソードプラズマCVDの製品カタログ01

基本情報オスミウムコーター HPC-1SW型ホローカソードプラズマCVDの製品カタログ

オスミウム金属成膜の基本装置 簡単操作で5nm以下の成膜が可能です。

この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。プラズマ放電はホローカソード内で行われ、円筒内はプラズマエネルギーで分離した金属Os粒子で満たされます。円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。

オスミウムコーター HPC-1SW型ホローカソードプラズマCVD

オスミウムコーター HPC-1SW型ホローカソードプラズマCVD 製品画像

オスミウムコーター HPC-1SW型ホローカソードプラズマCVDは簡易操作を目標にしたオスミウムコーティング専用機です。複雑な形状の生物や無機化合物などの試料でも360°一様にコーティング可能。どのような試料にも極めて薄いコーティングで導電性を与えることができます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期

取扱会社 オスミウムコーター HPC-1SW型ホローカソードプラズマCVDの製品カタログ

株式会社真空デバイス

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス

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