カタログ発行日：2018/12/14

マルチ製膜装置　VEＳ－１０型の製品カタログ02

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基本情報マルチ製膜装置　VEＳ－１０型の製品カタログ

この装置は、2つの独立したチャンバーを持った複合装置です。当社製VC100,MSP1S,PIB10の性能を搭載しております。

この装置は、2つの独立したチャンバーを持ち、それぞれカーボン蒸着、マグネトロンスパッタ、親水処理の機能を有する装置です。１台で、当社製ＶＣ－１００Ｓ、ＭＳＰ－１Ｓ、ＰＩＢ－１０，３機種の性能を搭載しております。外付けロータリーポンプ排気で２系統の排気管切換を行っております。
また、それぞれのチャンバーは真空排気と大気解放を独立して行うことが出来、チャンバーは真空の保持が可能です。

マルチ成膜装置VEＳ－１０

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。（詳細を見る）

取扱会社マルチ製膜装置　VEＳ－１０型の製品カタログ

株式会社真空デバイス

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス

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