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最終更新日:2013-09-09 11:43:45.0

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発光分光分析システムCrevPEM製品カタログ

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基本情報発光分光分析システムCrevPEM製品カタログ

20120830

カタログ発行日:2012/9/1

業界初!リアルタイムでプラズマのバックグラウンドを分析する発光分光分析システム

分光計測データから、バックグラウンド、分子の発光強度、分子の発光比率をリアルタイムで分析、グラフ表示します。
全体の発光強度から、連続スペクトルによるバックグラウンドを分析し、そこからターゲットとなる分子の輝線スペクトルの発光強度を割り出します。
また、2種類の分子の発光強度の比率をリアルタイム分析することにより、プラズマCVD炉などの気相状態のコントロールに役立ちます。

リアルタイム発光分光分析システムCrevPEM

発光分光分析システムCrevPEM

大阪大学との産学共同開発で実現!
業界初の、リアルタイムでプラズマの連続スペクトルによるバックグラウンドを分析するシステムです。
これにより、リアルタイムで分子の変動を監視することができ、プローブ法より早く電子温度推測が可能になりました。
ターゲット分子は自由に設定できますので、プラズマだけでなく幅広い分野に応用可能です。
エンドポイントモニタとしての機能も搭載していますので、製造現場にも活用いただけます。
分光器とソフトウェアのセットで大変お求めやすい価格で導入いただけます。 (詳細を見る

取扱会社 発光分光分析システムCrevPEM製品カタログ

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