顕微鏡搭載型光ヘテロダイン変位計

顕微鏡搭載型光ヘテロダイン変位計

光ヘテロダイン変位計の１プローブ１出射型のプローブを
顕微鏡鏡筒上部に設置し、顕微鏡による観察と同時に変位量を測定する
顕微鏡搭載型光ヘテロダイン変位計

【特徴】
○被測定物の測定点をピンポイント
○被測定物状態観察と並行計測可能
○落射照明系、CCDカメラを取りつけ通常の顕微鏡として
　被測定物を視認すると共にCCDカメラを用い
　ディスプレイ（CRT）上で被測定面状態を観測
○ステージ上に様々な装置を取り付けることも可能
○ステージに自動ステージを取り付けることで、自動化することも可能
○手動ステージか自動ステージかで構成の大きさが異なります。
○ヘテロダイン変位計の選択はHV400,HV250いずれも可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。