林純薬工業株式会社電子材料部
最終更新日：2022-02-08 14:28:22.0
Alダメージレス絶縁膜エッチング液「Pure Etch ZE series」
基本情報Alダメージレス絶縁膜エッチング液「Pure Etch ZE series」
Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ Al、Al合金を腐食しません。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。
キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜
Alダメージレス絶縁膜エッチング液
本製品の特長は以下のとおりです。
・ Al、Al合金を腐食しません。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
・Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。
キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜 （詳細を見る）
取扱会社 Alダメージレス絶縁膜エッチング液「Pure Etch ZE series」
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