株式会社メープル ロゴ株式会社メープル

最終更新日:2010-12-13 11:36:15.0

  • 製品カタログ
  •  
  •  

マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット

基本情報マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット

6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット

【特徴】
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を
 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備
 (但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用)
○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット

マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット 製品画像

6角形のセンターチャンバーを採用
マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット

【特徴】
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を
 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備
 (但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用)
○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る

取扱会社 マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット

株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニットへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度[必須]

ご要望[必須]


  • あと文字入力できます。

目的[必須]

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

株式会社メープル

マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット が登録されているカテゴリ

開く


キーマンインタビュー