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最終更新日:2010-12-13 11:36:15.0

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マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット

基本情報マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット

6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット

【特徴】
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を
 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備
 (但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用)
○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット

マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニットの製品画像です

6角形のセンターチャンバーを採用
マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット

【特徴】
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を
 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備
 (但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用)
○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る

取扱会社 マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット

株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

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