S&T出版株式会社
最終更新日：2014-02-20 19:02:51.0
書籍【フォトレジスト材料の評価】
基本情報書籍【フォトレジスト材料の評価】
好評につき改訂版完成! 感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製造、品質管理にかかわる方にお薦め!
○発刊日2012年03月09日○体裁B5判並製本 250頁○価格：本体 10,000円＋税 →STbook会員価格：9,500円＋税
○目次：第1章 リソグラフィーの概要
第2章 フォトレジストの塗布
第3章 露光技術
第4章 露光後ベーク(PEB)と現像
第5章 g線,i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術
第6章 KrF・ArF用フォトレジストの評価技術
第7章 ArF液浸レジスト・ダブルパターニング(DP)プロセスの評価技術
第8章 EUVレジストの評価技術
第9章 ナノインプリント・プロセスの最適化とその評価
書籍【フォトレジスト材料の評価】
○発刊日2012年03月09日○体裁B5判並製本 250頁○価格：本体 10,000円＋税 →STbook会員価格：9,500円＋税
○関口 淳 リソテックジャパン(株) （詳細を見る）
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