Saintechイオンソースシリーズ Mini Gun

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基本情報Saintechイオンソースシリーズ Mini Gun

非常に小さな排気速度のチャンバー内での動作用に開発いたしました

低排気速度、小型チャンバーでのPVDプロセス用に開発したIADイオンソースシステム”Mini-Gun”
・わずか2～3sccmのガス流量で1Aのビーム電流を生成します
・イオンソースヘッドがたったの50mmとコンパクトなデザイン
・150mmの動作空間で200マイクロアンペア/平方センチメートルまで生成可能
・アノードに特殊コート（特許）がしてあるのでクリーニングや交換などメンテナンスの手間を大幅にカット
・タッチスクリーンでの切り替えによって酸素、アルゴンのデュアルガス使用がオプションで可能

取扱会社 Saintechイオンソースシリーズ Mini Gun

VISTA株式会社

１．真空製品の製造販売：真空計、真空ポンプ、イオンポンプ、クライオポンプ、極高真空排気装置、極高真空対応チャンバーおよび部品、真空計校正装置２．真空技術、真空製品開発、マーケティングに関するコンサルティング３．真空製品の開発、設計、試験の受託

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