ＣＡＲＢＯＺＥＮハイブリッドＰＶＤシステム

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティング装置

『CARBOZEN　ハイブリットシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。

リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。

【特長】
■装置とオペレーターのためのロック機能
■MS Windows OSベースのソフトウェア・プログラムで
　カンタンに半自動・全自動で工程制御が可能
■コーティング工程中の作業内容を自動記録
■コーティングの全工程をデータ化

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。