パーティクルカウンター液中フッ酸対応 0.05μm KS-18F

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基本情報パーティクルカウンター液中フッ酸対応 0.05μm KS-18F

計数効率を10 ％に向上液中の0.05 μmを高感度に測定フッ酸対応

■ 測定粒径範囲：0.05 μm～0.2 μm (10粒径同時測定)
■ 測定粒径サイズは任意設定可能
■ 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
■ セルにサファイアを使用
■ 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能（KE-40B1 の機能による）
■ 粒径分解能を高める技術を採用（特許取得）

パーティクルカウンター液中フッ酸対応0.05μm KS-18F

純水～フッ酸まで
ウェハのあらゆる洗浄液の粒子数測定に
0.05μmから測定可能（詳細を見る）

パーティクルカウンター液中 40nm HF対応 KS-18FX

薬供ラインや薬液洗浄ラインでの微粒子数測定に
40nmを少量サンプルで測定（詳細を見る）

パーティクルカウンタ液中0.1μmHF対応 KS-16/16F

薬供プラントの送り Wet洗浄ラインの粒子管理に
0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応する
インライン・多点モニタリングシステム用センサー
半導体工場、薬液製造工場に多数の実績あり（詳細を見る）

パーティクルカウンター液中 0.2μm KL-28B/BF

ウエットプロセスのパーティクル管理に最適
ポイントオブユース、インラインパーティクルモニタリングに多数の実績あり
国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制（詳細を見る）

パーティクルカウンター液中 0.1μm KS-42A/42AF

0.1μm が測定可能な信頼性の高いパーティクルセンサ。
高計数効率による、少ないサンプル量で測定が可能。（詳細を見る）

【総合カタログ】液中・気中パーティクルカウンター

リオン製、パーティクルカウンタの総合カタログです。（詳細を見る）

取扱会社パーティクルカウンター液中フッ酸対応 0.05μm KS-18F

リオン株式会社

●「騒音計、振動計、地震計、周波数分析器、FFT分析器、粘度計」の製造・販売 ●「液中/気中パーティクルカウンタ」の製造・販売

公式サイト

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