プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／W／Alなどに対応！ ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等、スパッタしにくい材料を含む金属の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。
フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができます。自動シャッター機構を標準装備しています。

【特長】
■フルオート／マニュアルの2通りの操作
■高精度を誇る制御系
■シャッター標準装置
→設定プログラムと連動して自動でオープン／クローズがおこなえる
■リアルタイムモニタリング
■デスクトップサイズのコンパクトなボディ

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