マルチターゲットコンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。
ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。

【特長】
○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造
○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能
→排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続

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マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。
ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。

【特徴】
○ターゲットは3種類同時に装着可能
○真空中にターゲットを選択でき、多層膜を作製可能
○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付可能
○排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続
→抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能

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