超薄型XYθアライメントステージ 「Eシリーズ」

リニアモーションパーツ、超精密加工、システム製品開発などを行っているヒーハイスト精工株式会社の製品カタログです。

【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください】
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。