高精度めっき加工・表面処理

高精度めっき加工・表面処理

シンクロトロン光やUVによるフォトリソグラフィー技術を用いて、
マイクロマイシン・MEMSのナノ金型・ナノ部品製造を可能にする、
ナノテクノロジーにおけるLIGAプロセス微細精密めっき加工。
田口電機工業より、高精度めっき加工・表面処理に関するご紹介です。

■□■特徴■□■

■シンクロトン光、UVなどの光を、
金属基板上のレジスト膜に目的とする構造物のフォトマスクを通して照射
■エッチング液によって光が透過したレジスト部を溶解、
レジスト構造体を得る
■得られたレジスト構造体に、電気鋳造めっき加工を行う
■残りのレジスト部をエッチング、鋳型を作り上げる
■金型で成形を行い、量産化
■最終的に、マイクロマシン、MEMSなどに使用するナノ部品やナノ金型が完成

■フォトリソグラフィーの技術で、ナノサイズの歯車や端子などの
マイクロパーツを精密加工可能
■三次元構造体もシンクロトロン光の利用により可能
■設計から製品化までの一貫した加工受託も可能

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