【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】SPH-2500-2

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基本情報【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】SPH-2500-2

二種類の膜を両面に成膜可能

仕込室にトレーをセットすれば後は全自動で成膜！！
トレーを複数搭載可能なので大気開放する必要もなく金属膜、または
酸化膜(オプション)を一気に成膜します。
トレー内・トレー間分布が±1.5%以下、高使用効率カソード搭載、
ラック&ピニオン方式採用の当社ベストセラー装置です。
また、サイズもコンパクトなので(W1200×D2500×H1440)
量産用だけでなく試作・研究開発用にもご使用頂けます。

◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

ロードロック方式スパッタリング装置「SPH-2500-II」

昭和真空は、約15年の実績を誇るベストセラー装置SPH-2500のフルモデルチェンジを行いました。
ロードロック方式スパッタリング装置「SPH-2500-II」は、従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新のテクノロジーを採用し、あらゆる面で従来機を超える性能を達成致しました。

【特徴】
○外形：W1200×D2500×H1440設置面積はそのままに大幅に低背化を実現
○カソードを改良することによりターゲット使用効率が４４％まで大幅にUP
○ラック＆ピニオン方式を採用しローラーの滑りなどによる搬送不具合を解消

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。（詳細を見る）

取扱会社【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】SPH-2500-2

株式会社昭和真空

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの　総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、　ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、　脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、　IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他

公式サイト

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