株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
最終更新日：2015-08-25 15:22:20.0
成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
基本情報成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売などを行っている株式会社アルバックの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
【ラインナップ】
○RFS-1305N/1310N
○RFS-1330N/1350N
○MBX-1305N/1310N
○MBX-1330N/1350N
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
成膜装置向け電源（DC・RF・EB） ラインナップ
株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な
DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で
小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、
成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。
【ラインナップ】
■DC電源「DPG-10/DPG-20」
■EB電源「HPS-Nシリーズ」
■RF電源「RFS-Nシリーズ」
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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